GaN半導体に革命 生産コストの半分を占めるアンモニアから窒素水素に置き換える新製法を開発

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1 : 2024/06/02(日) 17:06:38.21 ID:deIlpNKb0

名古屋大学のダシヤン・アルン・クマール特任講師と石川健治教授、堀勝特任教授らは、
窒化ガリウム(GaN)の低温成長法を開発した。プラズマで窒素ラジカルなどを供給する。
原料をアンモニアから窒素と水素に置き換えられる。アンモニアは生産コストの3―5割を占めていた。
パワー半導体製造の低コスト化につながる。

窒素と水素のガスをプラズマ処理して窒素ラジカルなどを生成する。
基板上でガリウムなどの有機金属と反応し、GaNの結晶が成長する。
従来はアンモニアを1150度C程度で熱分解して窒素ラジカルを供給していた。
分解効率が低く、大部分のアンモニアが排出されていた。

プラズマを用いると800度CでGaNを製造できた。
結晶の成長速度は1時間当たり3・3マイクロ―4・5マイクロメートル(マイクロは100万分の1)と従来法に匹敵する。
容器を熱分解窒化ホウ素で覆うことで窒素ラジカルなどの失活を防いだ。

窒化アルミニウムは600度C、窒化インジウムは200度Cで製造できる。
低温で成長速度を制御でき、異なる物質を積層しても歪みを抑えられる。パワー半導体の量産などに提案していく。

「パワー半導体」量産に提案…名大、プラズマ活用でGaN高速成長
https://newswitch.jp/p/41748

2 : 2024/06/02(日) 17:08:04.13 ID:UzktFbl20
サツマイモっぽい名前の特任講師
3 : 2024/06/02(日) 17:08:20.20 ID:VmjWG07G0
ちょっと詳しい話を聞くアル
4 : 2024/06/02(日) 17:08:52.55 ID:QcLxvvhX0
コストが下がったら値段が下がると思う奴はアホ
5 : 2024/06/02(日) 17:09:15.87 ID:gjzAOIrU0
アンプいい奴作れるのか
6 : 2024/06/02(日) 17:11:03.45 ID:RPxFJQ5t0
半導体各社は速攻で問い合わせ入れてるな
7 : 2024/06/02(日) 17:12:38.07 ID:gUrkJV3f0
来年から何故か中韓の生徒が増えそう
8 : 2024/06/02(日) 17:13:33.88 ID:lz222JB60
???「共同研究してやるニダ」
9 : 2024/06/02(日) 17:13:41.30 ID:C/gb9CDZ0
水素用の設備とかクソ高そう
10 : 2024/06/02(日) 17:14:50.19 ID:HWXURaHS0
つまり水と空気と電気があれば良いってことか?
12 : 2024/06/02(日) 17:16:38.02 ID:ogHS48oq0
ガリウムもインジウムも潤沢にあるわけじゃないのがなあ
20 : 2024/06/02(日) 17:24:25.01 ID:YM8K9lTo0
>>12
次のダイヤモンド半導体に期待
13 : 2024/06/02(日) 17:17:34.05 ID:BEGI30OX0
ふむふむ、なるほど
なるほど🤔
15 : 2024/06/02(日) 17:19:09.61 ID:ShyrzYkf0
ダシヤンってどこの国の名前なんだろう?
21 : 2024/06/02(日) 17:25:50.87 ID:IwGoFclt0
>>15
クマールでインド
ダシヤンはインド
インドです。またはインド系の人。
28 : 2024/06/02(日) 17:42:10.29 ID:LI5ZRVgW0
>>21
大島栄城だが、それ俺か?
16 : 2024/06/02(日) 17:22:20.72 ID:FD4hj4Aa0
一方で電気自動車には全く力を入れてないので 中国めーに使われる
17 : 2024/06/02(日) 17:22:23.37 ID:lhvRerLs0
プラズマCVDは確かに低温でできるんだけど、
結晶性が悪くなるんだよな
これはどうなんだろ
18 : 2024/06/02(日) 17:23:23.63 ID:Y6fmVW2F0
プラズマは、ありまぁす
19 : 2024/06/02(日) 17:24:19.58 ID:IwGoFclt0
五十島さんが1999年頃に知り得ていた内容を今更持ち出すとは・・・・>>1
22 : 2024/06/02(日) 17:28:24.57 ID:IwGoFclt0
ガリウム化合物系のプラズモン装飾についての微細加工前処理については
1998年から2000年頃に五十島利浩さんの知り得ていた分野ドストライクだから
これは多分量産化するに至らないポンコツです。2000通り以上の化合物をやっていただろ、
あの当時はw学生を使ってでもやっていたのは、五十島さん達に聞きゃ当時の学生のブラック待遇がわかるわなw>>1
23 : 2024/06/02(日) 17:30:28.46 ID:JuvbfwXs0
なるほどわからん
24 : 2024/06/02(日) 17:32:08.44 ID:4wQ/5wMy0
800℃で低温なのか
29 : 2024/06/02(日) 17:43:53.83 ID:IwGoFclt0
>>24
さあねえ。五十島さんレベルの定義では
低温プラズマは工業用真空レベルで摂氏300℃前後から500℃前後のはずだが。
800℃となると試験段階で量産には全く向かないレベルじゃないの(笑)
どうせどこかの昔の廃棄レポートを見て特許申請されていないから着手しただけの気がするわw
25 : 2024/06/02(日) 17:33:41.74 ID:qQyMzA9j0
タムラ製作所の株が騰がればなんでもいい
26 : 2024/06/02(日) 17:37:41.38 ID:+Dq8gRvK0
低温核融合とか、低温なんたらは夢があるよな
まぁまともに運用できてるの低温殺菌牛乳ぐらいか
27 : 2024/06/02(日) 17:41:48.78 ID:ekOd9olH0
がんばれ民主党
日本人に負けるな
30 : 2024/06/02(日) 17:44:30.07 ID:ElfY6Gyy0
中華に殺される
立憲共産からスパイが大量に送られる
謎の研究員が急に増える
どれ?
32 : 2024/06/02(日) 17:46:07.72 ID:IwGoFclt0
プラズマの制御は磁界を+してこそがスタートレベル
こんなどこの馬の骨ともわからん外国人がプラズマの研究にかじりつくようでは
mRNAコロナと同じ香りがしますwwwマジで自民党は余計な事しかしなくなったよな。
33 : 2024/06/02(日) 17:48:43.09 ID:FpTw2eCb0
GaNは耐圧厳しいよね
速いけど
35 : 2024/06/02(日) 17:50:01.66 ID:GbNpYZ7n0
韮沢「あんたは何でもかんでもプラズマにしたがる人」
教授「あんたが何でもかんでもUFOにしてるから私が呼び出されるんです」

こう言うのをまた見たいよね

36 : 2024/06/02(日) 17:54:00.55 ID:XUYXTO5d0
ロームさん大喜びかな
38 : 2024/06/02(日) 17:58:13.19 ID:qOiN2DnC0
肝心EVマーケ死んだやん

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